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去離子水是指除去了呈離子形式雜質(zhì)后的純水。國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)化組織ISO/TC 147規(guī)定的“去離子“定義為:“去離子水完全或不完全地去除離子物質(zhì),主要指采用離子交換樹(shù)脂處理方法。”現(xiàn)在的工藝主要采用RO反滲透的方法制取。目前去離子水應(yīng)用非常廣泛。在半導(dǎo)體行業(yè)中,去離子水被稱為“超純水”或是“18兆歐水”。
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