半導(dǎo)體行業(yè)用超純水設(shè)備首選東莞謙和水處理，謙和水處理專業(yè)生產(chǎn)超純水設(shè)備，純水處理設(shè)備，去離子水設(shè)備。

半導(dǎo)體行業(yè)用超純水設(shè)備的水處理系統(tǒng)工藝流程如下：                        

市政自來水→源水箱→源水增壓泵→多介質(zhì)過濾器→活性碳過濾器→保安過濾器→高壓泵 →反滲透系統(tǒng)→中間箱→增壓泵→紫外線殺菌器→微濾器→EDI裝置→純水箱→氮封無菌儲水箱→增壓泵→拋光混床→用水點

一、   工藝概

1.預(yù)處理:

預(yù)處理主要是去除水中的有機(jī)物、懸浮物、膠體和余氯等，以確保RO能正常工作。處理工藝采用多介質(zhì)過濾、活性碳吸附，減少RO工作時產(chǎn)生垢物和藻類生長及微生物污染及氧化劑。預(yù)處理系統(tǒng)包括：源水箱、源水泵、多介質(zhì)過濾、活性碳過濾。

2.源水箱：

源水首先流入源水箱。源水箱對源水的供給起到緩沖作用，協(xié)調(diào)源水的供給量與源水泵的輸入量。當(dāng)源水的供應(yīng)量超過源水泵的輸水量時，源水箱水滿，通過源水箱的液位控制使用源水供給停止。當(dāng)源水供應(yīng)量小于源水泵的輸水量時，源水箱空，源水泵停止運行，起到保護(hù)源水泵的作用。

3.源水泵：

本系統(tǒng)配置一臺多級立式CHL4-40型特種離心水泵，用于對源水加壓，為預(yù)處理系統(tǒng)提供動力源，該泵單臺流量4.0m3/h，揚程40m，功率0.75kw，材質(zhì)為不銹鋼。該泵具有體積小，高效率，低噪音等特點。 

4.多介質(zhì)過濾器：

本系統(tǒng)是對源水中懸浮物、顆粒物及膠體等物質(zhì)進(jìn)行去除，同時對源水中的濁度、色度起到降低作用，它可濾掉源水帶來的顆粒、藻類等可見物。

多介質(zhì)過濾是一種先進(jìn)的微絮凝過濾方式，本公司提供的多介質(zhì)過濾器含有材質(zhì)各異的多層過濾介質(zhì)，完全能濾除不溶于水中的雜質(zhì)，保證SDI值不大于4，是后級RO的強(qiáng)有力保護(hù)屏。能更好的去除水中的懸浮物或非溶解性粒子（氧化物、濁度、顆粒物等），具有低成本，操作維護(hù)、管理方便等特點，特別是在降低源水中的濁度、污染指數(shù)等方面具有很好的效果。

該系統(tǒng)設(shè)置一臺玻璃鋼多介質(zhì)過濾器，規(guī)格為φ16×65″，過濾器內(nèi)填精制的具有良好的級配石英砂和無煙煤，濾層高度一般≥1000mm，在正常工作情況時，正常流速8-12m/h，總產(chǎn)水量為3.5m3/hr。

多介質(zhì)過濾器反洗周期時間為16-48小時。反洗以壓力參數(shù)設(shè)備來控制反沖洗周期，當(dāng)進(jìn)出水母管上的壓力差達(dá)到0.7kg/cm2時即停止運行進(jìn)行反沖洗，通過多路閥控制器進(jìn)行濾器順序反洗、氣擦洗、正洗工藝過程。

5.活性炭過濾器：

活性炭工藝在水處理領(lǐng)域中占有相當(dāng)重要的地位，是水深度處理中不可缺少的工藝，它所具有的某些特殊功效是其它水處理工藝所無法替代的。

去色:可去除由鐵、錳及植物分解生成物或有機(jī)污染物等所形成的色度。

脫氯:可去除因余氯所造成的嗅味。

去除有機(jī)物:可去除由于水源污染而常規(guī)工藝又無法去除的水中微量污染物，如農(nóng)藥，殺蟲劑，氯化烴，芳香族化合物，以及BOD與COD等。

去除有機(jī)氯:可去除在源水凈化過程中及自來水出廠前投加預(yù)氧化劑和消毒劑（如氯氣）所產(chǎn)的THMS等“三致”物質(zhì)。有分析表明，自來水中“三致物質(zhì)THMS占去大半，有效的去除對于提高水質(zhì)量十分關(guān)鍵。

去除氨氮和亞硝酸鹽:活性炭可有效去除氨氮和亞硝酸鹽。去除剩余氯或氧化劑，保護(hù)超濾、反滲透的濾膜,另外，它還可以除臭，去除水中的微量重金屬離子（如汞、鉻等離子），合成洗滌劑及放射性物質(zhì)等。

為保證系統(tǒng)設(shè)備穩(wěn)定運行、出水水質(zhì)及出水流量、故障排除、反洗等穩(wěn)定因素，該系統(tǒng)配置一臺玻璃鋼活性炭過濾器，規(guī)格為φ16x65″，過濾器內(nèi)填精制果殼型活性炭，在正常工作情況時，正常流速10-15m/h，濾層高度一般為≥1000mm，總產(chǎn)水量3.5m3/hr。

純水處理：

保安過濾器：

經(jīng)過前面的石英過濾器、活性炭過濾器之后，源水中大顆粒懸浮物已基本被除去，而一些小顆粒懸浮物則沒有被除去。在這里，再進(jìn)行一次微濾，去除5μm以上的懸浮物，以保護(hù)RO膜不被堵塞。同時，一些活性炭細(xì)沫也被截留在反滲透系統(tǒng)之外。保安裝過濾器進(jìn)出口設(shè)壓力指示表，當(dāng)壓差增大到設(shè)定值時更換濾芯。 

高壓泵

高壓泵的反滲透設(shè)備的主要動力設(shè)備，高壓泵應(yīng)設(shè)置高過熱保護(hù)，泵前后分別設(shè)置低、高壓保護(hù)開關(guān)。當(dāng)高壓泵進(jìn)水壓力低于設(shè)定值后，高壓泵停運，以保護(hù)高壓泵，當(dāng)高壓泵出口壓力高于設(shè)定值后，高壓泵停運，以保護(hù)反滲透膜。

反滲透裝置

反滲透裝置是該項目預(yù)脫鹽的心臟部分，經(jīng)反滲透處理的水，能去除絕大部分無機(jī)鹽、有機(jī)物、微生物等。設(shè)計的合理與否直接關(guān)系到項目的投資費用，整個系統(tǒng)運行經(jīng)濟(jì)效益，使用壽命，操作可靠簡便性。反滲透膜均采用先進(jìn)的超低壓復(fù)合膜，單根脫鹽率達(dá)99.8%。當(dāng)系統(tǒng)設(shè)計溫度為25℃時，考慮到源水水質(zhì)變化以及膜的使用壽命等因素，本系統(tǒng)采用4英寸的復(fù)合RO膜，安裝在不銹鋼壓力容器內(nèi)。RO膜數(shù)量：8支，產(chǎn)水量：2m3/h；回收率：60-75%，脫鹽率：99%。

RO系統(tǒng)回收率在60-75%以上，系統(tǒng)脫鹽率不小于98%。在本項目中，考慮到設(shè)備的節(jié)能、運行壓力、膜的透過率、膜的脫鹽率、出水的含鹽量等因素，我公司推薦采用美國陶氏公司的4040型反滲透膜。

本公司生產(chǎn)的反滲透純水機(jī)的特點如下。

a．本公司反滲透主機(jī)系列具有自動化程度高、占地面積小、安裝方便、經(jīng)濟(jì)實用等特點。

b．本系列主機(jī)配有一個完整的控制盤，自動控制高壓泵的起停及自動低壓保護(hù)，自動快速反沖洗等功能，實現(xiàn)完全自化，無需日常維護(hù)。所采用的美國源裝進(jìn)口RO 膜可去除水中所有細(xì)菌、大腸肝桿菌、重金屬、有機(jī)物等有害物質(zhì)，脫鹽率＞99%。

c．該系列主機(jī)在系統(tǒng)設(shè)計上采用全封閉、全自動化、組合式的設(shè)計。其過濾、制水、反沖洗、試壓檢漏、清洗、故障報警等處理過程以及水質(zhì)監(jiān)測（電率儀顯示）、工作指示等全部為自動控制，運行管理簡便。廣泛應(yīng)用于工業(yè)純水、超純水的生產(chǎn)工藝上。

EDI系統(tǒng)

源水經(jīng)RO反滲透系統(tǒng)處理后，利用增壓泵進(jìn)入EDI系統(tǒng)：RO對2價以上的離子，如Ca2＋、Mg2＋等具有很高的脫鹽率，因而可有效降低源水硬度，有利于EDI膜堆長期穩(wěn)定運行；同時有利于EDI淡水室水的解離，產(chǎn)生足夠的H＋和OH－，從而實現(xiàn)對離子交換樹脂的電化學(xué)再生，使相當(dāng)一部分樹脂處在交換－再生平衡狀態(tài)，即不必用酸、堿對樹脂進(jìn)行化學(xué)再生，且離子交換樹脂用量僅相當(dāng)于傳統(tǒng)工藝的5％，既降低了合成樹脂的消耗量，又避免了因樹脂再生使用大量酸堿所造成的高運行成本和高污染。
樹脂床利用加在室兩端的直流電進(jìn)行連續(xù)地再生，電壓使進(jìn)水中的水分子分解成H＋及OH－，水中的這些離子受相應(yīng)電極的吸引，穿過陽、陰離子交換樹脂向所對應(yīng)膜的方向遷移，當(dāng)這些離子透過交換膜進(jìn)入濃水室后，H＋和OH－結(jié)合成水。這種H＋和OH－的產(chǎn)生及遷移正是樹脂得以實現(xiàn)連續(xù)再生的機(jī)理。

當(dāng)進(jìn)水中的Na＋及CI－等雜質(zhì)離子吸附到相應(yīng)的離子交換樹脂上時，這些雜質(zhì)離子就會發(fā)生像普通混床內(nèi)一樣的離子交換反應(yīng)，并相應(yīng)地置換出H＋及OH－。一旦在離子交換樹脂內(nèi)的雜質(zhì)離子也加入到H＋及OH－向交換膜方向的遷移，這些離子將連續(xù)地穿過樹脂直至透過交換膜而進(jìn)入濃水室。這些雜質(zhì)離子由于相鄰隔室交換膜的阻擋作用而不能向?qū)?yīng)電極的方向進(jìn)一步地遷移，因此雜質(zhì)離子得以集中到濃水室中，然后可將這種含有雜質(zhì)離子的濃水排出膜堆。

在典型的EDI系統(tǒng)中，進(jìn)水的90－95％直接通過淡水室，5－10％的進(jìn)水被分配進(jìn)濃水室。濃水用泵打循環(huán)并使其在膜堆中達(dá)到較高的流速，這樣可以起到提高除鹽效率、促進(jìn)水流的混合、降低可能的結(jié)垢等作用。濃縮離子可以通過從濃水循環(huán)回路中排除一定比例的水后而從膜堆中除去，這種PH在5－8的水可以回收或直接打回到預(yù)處理系統(tǒng)的入口。在電去離子的過程中，將進(jìn)水中的雜質(zhì)離子去除后即制得高品質(zhì)的除鹽水。

EDI的優(yōu)點

本系統(tǒng)采用CONPURE品牌的EDI膜塊，此EDI在水處理系統(tǒng)中可替代現(xiàn)有的混床，它能夠連續(xù)穩(wěn)定地制出高純度的水。EDI的優(yōu)點在于不用化學(xué)藥劑進(jìn)行再生，因而不需要化學(xué)再生藥劑貯存罐及相應(yīng)的中和池，而且無須對有害的化學(xué)廢水進(jìn)行收集、貯存及處理，結(jié)果使EDI大大的簡化了系統(tǒng)。

還有一個優(yōu)點是，EDI排出的濃水中僅含有進(jìn)水中的雜質(zhì)成分，通常這種水的水質(zhì)比預(yù)處理系統(tǒng)的進(jìn)水水質(zhì)要好，故濃水可以直接排至RO的入口，這樣就有效地消除了對廢水的排放。相反，混床的再生是個一次性的過程，由于使用化學(xué)藥劑再生樹脂床，其廢液中含有比一般EDI濃水高3－4倍的廢棄離子，這類廢液通常不回收到預(yù)處理系統(tǒng)中，而是排放于廢水中和池內(nèi)。

控制方式

本方案總控制為自動化，采用進(jìn)口正泰電器元件。實現(xiàn)水處理自動化是提高企業(yè)管理水平，減輕操作人員勞動強(qiáng)度，方便操作管理，保證水處理質(zhì)量和安全生產(chǎn)、節(jié)約能耗、降低生產(chǎn)成本的重要措施。水處理的自動化控制系統(tǒng)主要根據(jù)液位、流量、壓力等信號通過電器來控制泵及閥的運行狀態(tài)，并能根據(jù)工藝要求及設(shè)備運行參數(shù)的變化自動或提示操作人員控制設(shè)備的運行。

純水箱均裝有液位控制器，通過電器來控制與水箱連接的泵的啟停。

反滲透單元是純水處理工藝中的預(yù)脫鹽系統(tǒng)，在其進(jìn)水管、純水管、濃水管安裝控制閥、壓力計、流量計，監(jiān)視和控制該單元的運行、清洗，確保反滲透單元在滿足工藝要求的范圍內(nèi)。

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